ウェハーの履歴は誰が持つのか｜SEMI E90とE142で分けるトレーサビリティ要求
納品先から「ウェハー単位で履歴を出してほしい」と言われたとき、最初に決めるのは対応規格の名前ではありません。その履歴を誰が持つのか、です。SEMI E90の案内ページは、基板の情報を管理するのは工場システムで、装置はそのためのサービス...
Oct 13, 2026
SECS/GEMを実際に流してみた｜secsgem 0.3.0の装置役とホストで追う接続手順と詰まる地点
HSMSの接続が成立しても、装置が返事をするとは限りません。公開ライブラリsecsgem 0.3.0で装置役とホスト役を立て、接続から最初のイベント報告までのメッセージを実際に流しました。接続は「回線がつながる」「会話が始まる」「報告...
Oct 9, 2026
EDA（Interface A）はSOAP版とProtocol Buffers版｜発注仕様書に書く一行
装置のデータを細かく取りたくなったとき、SECS/GEMの回線に収集を積み増すのは筋が違う。PEER Groupのフチガミ（Albert Fuchigami）氏は講演資料で、SECS/GEMを「制御の回線」と呼び、データ収集で過負荷に...
Sep 15, 2026
SECS/GEM非対応の装置は三列に分けてMESに繋ぐ｜HSMS対応・SECS-Iのみ・通信なし
「SECS/GEM非対応の装置」は、一括りにできる状態ではありません。ラインを見渡すと、Ethernetで繋がるHSMS対応の装置、シリアル通信しか持たないSECS-Iのみの装置、通信の口そのものがない装置が混在している。装置を替えず...
Sep 2, 2026